激光器的日常保养及维护

1、激光器的每日保养

激光器应在每日开机前保养。

1) 激光工作用气体和切割气体的检查：检查激光工作气体的气

瓶里

2) 检查冷却水压力保持在 3.5～5Bar 之间。

3) 检查冷却水的温度，以选用的激光器所要求的水的温度为

佳。

4) 检查激光器真空泵内油面高度，若不够，则需添加。

5) 检查激光器油路、水路、气路有无泄漏情况，真空泵、谐振

腔各气动元件、管接头是否泄漏。

2、 激光器的每周保养

1) 检查激光器的气体混合单元是否有油、水，若有则及时清理；

检查激光器气体干燥过滤器，若超过 1/4 颜色变成红色或者白色，

则需进行更换，其正常颜色为蓝色。2) 检查真空泵和罗咨泵的

油面高度，若不够，则需添加。

3) 检查冷水机的过滤器是否有杂质。

4) 检查激光器冷却水回路是否有杂质。

5) 检查压缩空气分离器（位于气源单元内）内的冷凝水水位。检

查真空泵油位（位于气源单元下面）。 当泵处于冷态时，油面应

在油窗中间线+5mm—0mm 之间，需要时再加油。

6）检查罗茨泵油位。罗茨泵齿轮箱中的油位可通过齿轮箱端面

的油窗看见，当泵关掉并且处于冷态时，油位应在玻璃中间线的

+5mm—0mm 之间，必要时再加型号为 HTCL2100 油 。

3、激光器的每半年保养（或运行 2000 小时后）

1) 检查激光器激光头冷却水管路是否有腐蚀现象，如果有则要

及时处理或者更换管路。

2) 检查激励电源油箱是否漏油。

3) 检查高压电缆线是否有损坏。

4) 检查、清理激光谐振腔内部和所有的镜片，包括前窗镜、尾

镜、反射镜等。

5) 激光器内部镜片清理完后，应重新调整激光器的出光模式，

直到达到正确的模式为止。

6) 更换真空泵油。

7) 更换罗茨泵油。

8) 仔细旋紧所有螺塞以确保罗茨泵的气密性。

9) 在罗茨泵出气端气体分流排上有一白色塑料塞，清洗此塞，

并在其内表面涂上硅脂。 此硅脂的用途是吸附捕捉激光器循环

流动气体中的物理杂质。（只可使用无硅高真空 脂，涂得要很薄）。